壓阻式：應(yīng)力應(yīng)變，電阻變化

　　這是目前應(yīng)用廣泛的一類。其核心是一個硅基薄膜（壓力敏感膜片），并在其表面特定位置通過半導(dǎo)體工藝注入雜質(zhì)，形成四個壓阻元件，通常連接成惠斯通電橋。

　　無壓力時：薄膜平整，四個電阻阻值相等，電橋處于平衡狀態(tài)，輸出為零。

　　施加壓力時：薄膜發(fā)生微小形變，貼附于其上的壓阻元件隨之承受應(yīng)力。根據(jù)壓阻效應(yīng)，硅的電阻率會因應(yīng)力而改變：位于薄膜邊緣的電阻受拉應(yīng)力，阻值增大；位于中心的電阻受壓應(yīng)力，阻值減小。

　　電橋輸出：這種差動變化打破了電橋的平衡，輸出一個與壓力呈良好線性關(guān)系的差分電壓信號。由于壓阻效應(yīng)靈敏度高，且硅材料的機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異，這種設(shè)計可測量從幾帕到幾百兆帕的壓力范圍。

　　電容式：極板間距，電容變化

　　電容式傳感器同樣利用壓力敏感膜片，但檢測的是電容值的變化。它由固定電極與可動電極（即壓力敏感膜片）構(gòu)成一個平行板電容器。

　　施加壓力時：膜片受力變形，向固定電極靠攏，兩極板間的距離減小。

　　電容量變化：根據(jù)電容公式，極距減小導(dǎo)致電容量增加。通過專用的信號調(diào)理電路（如C-V轉(zhuǎn)換電路）將此電容變化檢測并轉(zhuǎn)換為電壓或頻率信號輸出。這種方式的優(yōu)勢在于靈敏度高、功耗極低，且溫度特性優(yōu)良。

　　完整的信號鏈路

　　無論是壓阻式還是電容式，傳感器內(nèi)部都集成了完整的信號調(diào)理鏈路。微弱的敏感信號（毫伏級電壓或皮法級電容變化）首先被儀表放大器或C-V轉(zhuǎn)換器提取并放大，隨后可能經(jīng)過模數(shù)轉(zhuǎn)換器數(shù)字化，最后由數(shù)字接口（如I²C、SPI）輸出可直接供微控制器讀取的壓力值。

　　現(xiàn)代MEMS壓力傳感器還會在芯片上集成溫度傳感器，用于實時校正溫度變化對測量精度的影響，從而在寬溫域內(nèi)保持穩(wěn)定性能。正是這種將敏感元件與信號處理電路集成于同一微小芯片的設(shè)計，使得MEMS壓力傳感器能以極小的體積、極低的功耗，廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、醫(yī)療設(shè)備、汽車胎壓監(jiān)測及工業(yè)自動化等眾多領(lǐng)域。